60-80目 电子气体四氟化碳分析5Å填充柱
简单介绍
60-80目 电子气体四氟化碳分析5Å填充柱的详细介绍
电子气体四氟化碳分析5Å填充柱 详细信息:
四氟化碳
分子式:CF4
分子量:88.01
CAS号:75-73-0
性质:又称四氟甲烷。
(tetrafluormathane)。无色无臭味气体。不燃。熔点-184℃。沸点-128℃。稍溶于水。由四氯化碳氟化制得。主要用于制取氟硅橡胶,也可用作制冷剂、绝缘气体。可用于半导体生产中等离子蚀刻、表面清洗,并用作太阳能电池气体,激光器工作介质。及超低温制冷剂,气体绝缘剂、微电子工业中等离子体化学干刻剂以及火箭方向的控制。高浓度对人体有麻醉作用。
用途:用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体,或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。
产品指标:
项目名称
|
指标纯度 | ||
四氟化碳(CF4).% | ≥99.999 | ≥99.995 | ≥99.99 |
氮气(N2).ppmv | ≤4 | ≤20 | ≤40 |
氧气(O2).ppmv | ≤1 | ≤5 | ≤10 |
二氧化碳(CO2).ppmv | ≤1 | ≤5 | ≤10 |
一氧化碳(CO).ppmv | ≤0.3 | ≤0.5 | ≤1 |
六氟化硫(SF6).ppmv | ≤1 | ≤1 | ≤5 |
水份(H2O).ppmv | ≤1 | ≤5 | ≤10 |
酸度(HF).ppmv | ≤0.1 | ≤0.3 | ≤0.3 |
氟碳化合物(TFC).ppmv | ≤1 | ≤10 | ≤30 |
注:氟碳化合物CH3F(R41)、CH2F2(R32)、CHF3(R23)、C2F6(R116)、C3F8(R218)等。 |
浩瀚色谱(山东)应用技术开发有限公司,采用气相色谱法测定了电子工业用气体—四氟化碳中氢,氧氩,氮,一氧化碳,二氧化碳,六氟化硫等杂质,柱效高,分离好,结果满意。
名称:MS5Å填充柱
规格:3m*2MM,60-80Mesh
使用温度:300°C
编号:20230207007
应用: GBT 电子工业用气体 四氟化碳
电子气体四氟化碳分析5Å填充柱 谱图:




注意事项
感谢您购买浩瀚生产的色谱柱.
浩瀚提供的每一根色谱柱均经过老化,为您获得的分析分离效果,请在使用前再老化1-2小时。老化时,应先通载气10min左右,待柱内空气置换干净后,再用程序升温升高使用温度老化。
为避免检测器被污染,老化时请不要将色谱柱和检测器相连。
当柱箱温度高于室温时,载气中少量氧会损坏色谱柱内的固定相,载气必须采用脱氧管进一步脱氧(建议所用载气中氧气含量不要超过1PPm)
安装色谱柱时,产品牌号应面向操作者,左侧为色谱柱的进样口(或见标识)。
拆卸色谱柱时,先将柱温降室温,然后再关载气。
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